產品
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lynceetec數(shù)字全息顯微鏡DHM是Lyncee Tec公司的專利技術。其工作原理為：全息圖由參考光束和經被測物體表面反射的物光光束相互干涉形成，攜帶有被觀測物體的波前信息，由CCD捕捉，再通過計算機對所記錄的全息圖進行數(shù)值重建來得到被測物體的相位和振幅(光強)信息，進完成被測物體的數(shù)值三維重建。
DHM® 縱向分辨率達到了亞納米，橫向分辨率則由所選物鏡決定。其獨特非掃描三維成像機制克服了傳統(tǒng)限制，可高速測量動態(tài)三維形貌（1000fps），動態(tài)響應。
北京大學——應變鼓膜測量納米薄膜的動態(tài)力學性能；
清華大學——微納制造與測試,微小光學元件檢測,微電子制造；華中科技大學，天津大學（精密測量）、東南大學（MEMS）、浙江師范大學、蘇州大學、南京航空航天大學等。更多應用請咨詢payne@rayscience.com
超高速記錄動態(tài)三維形貌
DHM® 采用非掃描機制，采集單幀圖像 既能記錄樣品表面三維形貌，因此擁有其他技術無法匹敵的圖像采集速度，可以達到1000幀/秒，使得以下應用變?yōu)榭赡埽?/span>
? 研究可形變樣品三維動態(tài)響應
? 表面大區(qū)域掃描分析
? 生產線在線三維形貌捕捉
MEMS形貌與運動參數(shù)（可達25 MHz）
頻閃模塊(可選配件)可同步DHM® 測量時激光脈沖與 MEMS器件的激勵信號，獲取振動周期內的全視場振動模態(tài)。 這些特有的分析數(shù)據(jù)可提供以下信息：
? 三維形貌時序圖
? 頻率共振分析和響應分析
? 面內面外振幅分析(面內振幅測量精度1nm，面外振幅測量精度5pm)
? 復雜運動表征，振動模態(tài)表征，樣品動態(tài)三維形貌
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