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氬氣或氦氣為平衡氣的組分和濃度有:氮?dú)猓?/span>5-100ppm)、一氧化碳(1-10ppm)、 甲烷(1-10ppm)、二氧化碳(1-10ppm)、氫氣(1-10ppm)、氧氣(5-10ppm)
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