據(jù)報道，記者今天從國防科技大學(xué)獲悉，由該校機(jī)電工程與自動化學(xué)院自主研制的新一代超精密光學(xué)零件加工設(shè)備，日前通過相關(guān)單位組織的工藝考核。結(jié)果表明，該套設(shè)備加工精度實(shí)現(xiàn)亞納米級重大突破，其典型試驗(yàn)件的光學(xué)零件面形精度RMS(均方根)值達(dá)到0.361納米，標(biāo)志我國超精密光學(xué)零件加工技術(shù)跨入世界領(lǐng)先行列。

超精密加工技術(shù)是先進(jìn)裝備制造的關(guān)鍵性瓶頸技術(shù)，納米精度被譽(yù)為超精密加工技術(shù)“皇冠上的明珠”。過去，由于我國光學(xué)零件加工技術(shù)落后，無法進(jìn)行大口徑、高精度、復(fù)雜面形的光學(xué)零件加工，嚴(yán)重制約相關(guān)領(lǐng)域的技術(shù)進(jìn)步。20世紀(jì)80年代以來，該校精密工程創(chuàng)新團(tuán)隊在李圣怡教授率領(lǐng)下，經(jīng)過30多年頑強(qiáng)拼搏與自主創(chuàng)新，先后突破高精度機(jī)床精密運(yùn)動機(jī)構(gòu)設(shè)計、高效磁流變拋光液配制、離子束穩(wěn)定控制、光學(xué)元件亞納米全頻段誤差控制等核心關(guān)鍵技術(shù)，研制出一系列具有自主知識產(chǎn)權(quán)的磁流變、離子束拋光設(shè)備，打破了發(fā)達(dá)國家對超精密加工設(shè)備的技術(shù)封鎖，使我國成為繼美、德之后全面掌握磁流變和離子束拋光裝備兩種高精度光學(xué)零件加工技術(shù)的國家。

近年來，該校精密工程創(chuàng)新團(tuán)隊在“極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝”國家重大科技專項二期項目和國家自然科學(xué)基金重大項目支持下，研制成功新一代離子束拋光機(jī)床與數(shù)控光順拋光機(jī)床，其最小可控材料去除量達(dá)到0.1納米。有關(guān)專家指出，這一自主創(chuàng)新成果可為“極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝”、“高分辨率對地觀測系統(tǒng)”等國家重大科技專項提供有力技術(shù)保障和裝備支撐，將直接促進(jìn)相關(guān)領(lǐng)域關(guān)鍵技術(shù)突破，對于提升我國先進(jìn)裝備制造水平具有重要意義。